直拉法晶体生长系统作为半导体行业的重要组成部分,具备以下显著特点:
1. 精确性: 通过精密仪器制造的驱动单元,实现可重复的工艺控制,生产出最佳品质的晶体。
2. 坚固性:炉体部件采用高质量不锈钢制成,内表面经过高精度抛光,确保耐用性和洁净等级的最高要求。
3. 安全性:高度自动化和额外增设的安全系统,确保在最先进的生产环境中的安全使用中国机械网okmao.com。
4. 定制化:基于多年的开发经验和专业知识,提供多种部件更换和组合方式,根据不同客户的特定需求提供最佳解决方案。
5. 支持与服务:提供直接联系专家进行“点对点”沟通,提供系统备件服务以及系统调整和优化服务。
(图片来源于PVA TePla官网)
技术突破的起源
偶然将籽晶意外浸入熔融锡中,发现了目前微电子领域最重要的晶体生长工艺。柴可拉斯基法(直拉法)以扬·柴可拉斯基的名字命名,是为工业化生产而开发的技术。目前用于生产直径达300毫米、重量为500公斤的硅晶体。在温度达到约1410℃时,高纯硅作为半导体材料在石英坩埚中熔化,通过控制程序拉出单晶硅锭。
挑战与技术极限
现代微电子行业在成本保持不变的前提下,追求更高的集成密度和更小的结构体积。通过对拉晶工艺的精确调整和控制,可以调整缺陷分布,挑战系统制造商突破技术极限。
PVA TePla公司的技术研发实验室
PVA TePla公司拥有独立自主的技术研发实验室,与研究机构紧密合作,对系统和工艺研发的最新课题进行研究、应用和测试。该研发模式在直拉法工艺开发及其他产品线上得以延续。
直拉法晶体生长系统系列
CGS1218单晶炉
特点: 拥有组合式炉室,高精度的晶体轴配置,线性可调和可重复的提拉速度。
数据概览:
最大晶棒直径:12-18英寸
晶棒长度:最大2,100毫米
装料容量:300公斤-450公斤
热场:32–36英寸
(CGS1218单晶炉,图片来源于PVA TePla官网)
SC28单晶炉
特点: 灵活配置,满足特殊要求,紧凑型设计,适用于200-300毫米(8-12英寸)单晶硅的工业生产。
数据概览:
最大晶棒直径:8-12英寸
晶棒长度:长达3,600毫米
装料容量:高达450公斤
热场:28英寸/32英寸
(SC28单晶炉,图片来源于PVA TePla公司官网)
SC24单晶炉
特点: 模块化设计,低能耗优化,适用于单晶硅晶体的工业生产。
数据概览:
最大晶棒直径:最长230毫米
晶棒长度:最长2,900毫米
装料容量:160公斤-220公斤
热场:24英寸
(SC24单晶炉,图片来源于PVA TePla公司官网)
CGS Lab
特点: 针对研究所和实验室设计,紧凑型设计,适用于最多5公斤的加料量和生长直径为100毫米、长度为300毫米的硅锭。
数据概览:
最大晶棒直径:4英寸
晶棒长度:最长300毫米
装料容量:高达5公斤
热场:10英寸
(直拉法晶体生长系统CGS Lab,图片来源于PVA TePla公司官网)