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MEMS技术生产气压传感器

2020-02-14    阅读量:32073    新闻来源:互联网     |  投稿

该大学网站上的一篇文章说,纽约州立大学宾汉顿分校对基于MEMS的微开关技术的正在进行的研究已经产生了一种气压传感器,该气压传感器可以改善许多日常设备。


去年八月,研究人员利用相同的技术生产了微型,无噪音的麦克风。宾汉顿大学托马斯·沃森工程与应用科学学院机械工程学副教授Shahrzad“ Sherry” Towfighian说:“这与我们过去设计的设备具有相同的机制,但是它的应用有所不同中国机械网okmao.com。” 。


Towfighian说:“传感器的心脏仍然由四个电极组成,而常规传感器有两个电极。” “这使我们可以更好地调整系统的性能。”

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这项研究是由美国国家科学基金会提供的480,958美元的资助。宾厄姆顿大学(Binghamton University)博士生Mark Pallay在Towfighian及其共同研究员,机械工程系杰出教授Ronald N. Miles的指导下进行了许多研究。Pallay毕业了,现在在Seagate Technology担任研发工程师。


MEMS设备的一个优势是其独立的设计,因为不需要计算机来分析读数,从而使响应时间更快,更可靠。


陶菲金说:“它不仅可以感应压力,还可以触发切换。” “通常,传感器需要感应压力,然后通过软件对其进行处理,以确定是否满足正确的条件,然后触发开关。这是一个紧凑的压力传感器和开关,因此可以通过向一个电极发送电压来实现,您可以使其在不同的压力下工作。”


Towfighian补充说,该设备使用四个电极可以延长其使用寿命。“当前的设备通常存在一个问题,即由于具有两个电极,所以它们的寿命有限,但是具有两个其他电极使我们能够使其更耐用并延长设备的使用寿命。”


研究人员认为,这种新设备具有多种可能的用途,例如测量气压,监测医院早产婴儿的氧气或检测车辆的胎压。


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